Στον τομέα της κατασκευής ημιαγωγών ή υγρών κρυστάλλων, η ενσωμάτωση συσκευών έχει αυξηθεί τα τελευταία χρόνια. Κατά την κατασκευή μιας συσκευής που ονομάζεται ολοκληρωμένο κύκλωμα πολύ μεγάλης κλίμακας, απαιτείται ένα λεπτό μοτίβο 1 μικρόν ή λιγότερο. Σε μια τέτοια διαδικασία κατασκευής, λεπτή σκόνη ή πολύ μικρή ποσότητα ακαθαρσιών αερίου εναποτίθεται ή απορροφάται στο σχέδιο καλωδίωσης, με αποτέλεσμα την αποτυχία του κυκλώματος. Επομένως, είναι απαραίτητο τόσο αέριο αντίδρασης όσο και αέριο φορέα υψηλής καθαρότητας, δηλαδή λίγα μόρια σωματιδίων και ακαθαρσίες αερίου, να μπορούν να υπάρχουν σε αυτά τα αέρια. Για το λόγο αυτό, είναι απαραίτητο ένας τριχοειδής σωλήνας από ανοξείδωτο χάλυβα ή ένα μέλος να χρησιμοποιεί ένα τέτοιο αέριο με υψηλή καθαρότητα και η εσωτερική του επιφάνεια χρησιμοποιείται ως ρύπος για την εκπομπή ρύπων, με ελάχιστη μόνο ποσότητα σωματιδίων και αερίου. Εκτός από αδρανή αέρια όπως το άζωτο και το αργό, πολλά αέρια που ονομάζονται ειδικά αέρια χρησιμοποιούνται επίσης ως αέρια για την κατασκευή ημιαγωγών. Παραδείγματα ειδικών αερίων περιλαμβάνουν διαβρωτικά αέρια όπως χλώριο, υδροχλώριο και υδροβρώμιο και χημικά ασταθή αέρια όπως ενσίρωση. Το πρώτο απαιτεί αντοχή στη διάβρωση αερίου, ενώ το δεύτερο απαιτεί μη καταλυτική απόδοση.
Μέχρι στιγμής, προκειμένου να μειωθεί η εναπόθεση ή η απορρόφηση σκόνης ή νερού, η εσωτερική επιφάνεια του τμήματος που χρησιμοποιείται για την παραγωγή αερίου ημιαγωγών έχει εξομαλυνθεί έως ότου η τραχύτητα της επιφάνειας Rmax είναι 1 μικρόνιο ή λιγότερο. Η ψυχρή σχεδίαση, η μηχανική στίλβωση, η χημική στίλβωση, η στίλβωση ή ένας συνδυασμός αυτών μπορούν να χρησιμοποιηθούν ως μέθοδος εξομάλυνσης της εσωτερικής επιφάνειας ή τμημάτων του σωλήνα. Ωστόσο, ένα εξαιρετικά λείο υλικό με τιμή 1 μικρόν ή λιγότερο λαμβάνεται κυρίως με ηλεκτρολυτική στίλβωση. Η εσωτερική επιφάνεια του σωλήνα ή παρόμοια εξομαλύνεται, στη συνέχεια καθαρίζεται με νερό υψηλής καθαρότητας και ξηραίνεται με αέριο υψηλής καθαρότητας για να ληφθεί το τελικό προϊόν.
Η συγκόλληση χρησιμοποιείται γενικά κατά τη συγκόλληση. Αυτό συμβαίνει επειδή η συγκόλληση μπορεί να εξασφαλίσει υψηλή αντοχή και καλή αεροστεγανότητα του αγωγού. Κατά την τοποθέτηση αγωγών, αδρανές αέριο υψηλής καθαρότητας, συνήθως αργό, χρησιμοποιείται ως προστατευτικό αέριο και η εσωτερική του επιφάνεια έρχεται σε επαφή με αέριο υψηλής καθαρότητας μέσω του αγωγού για να αποφύγει τη θέρμανση ενός μέρους ρύπανσης και οξείδωσης σε υψηλές θερμοκρασίες όσο το δυνατόν περισσότερο. Το Επιπλέον, κατά την τοποθέτηση του αγωγού, ο αγωγός καθαρίζεται με αργό ή άζωτο υψηλής καθαρότητας για να απομακρυνθούν αυτά τα σωματίδια και παραμένει ακόμη στο σωλήνα. Όταν ο αγωγός είναι μακρύς και περίπλοκος, όπως ένας αγωγός, διαρκεί αρκετές ημέρες έως αρκετές εβδομάδες. Πρόσφατα, ζητήθηκε έντονα η μείωση του κόστους στην κατασκευή ενός εργοστασίου παραγωγής ημιαγωγών και η πρώιμη λειτουργία του εργοστασίου. Για να ικανοποιηθούν αυτές οι απαιτήσεις, είναι πλέον απαραίτητο να μειωθεί ο χρόνος καθαρισμού.
Εκτός από τις παραπάνω ιδιότητες, οι σωλήνες και τα μέλη αερίου υψηλής καθαρότητας πρέπει να έχουν ικανότητες συγκόλλησης, την περιοχή αρμών που απαιτείται για μηχανικές στεγανοποιήσεις και αντοχή στη φθορά. όταν κατεργάζονται μέρη όπως αρμοί, απαιτείται αδυναμία Mach. Από την άλλη πλευρά, είναι γνωστό ότι ειδικά αέρια με αντοχή στη διάβρωση και μη καταλυτικές ιδιότητες, που απαιτούνται για την κατασκευή σωλήνων ημιαγωγών ή παρόμοιων αερίων, μπορούν να βελτιωθούν με θέρμανση της επιφάνειας του ανοξείδωτου χάλυβα με τέτοιο τρόπο Ατμόσφαιρα, μια ατμόσφαιρα, η μερική πίεση του οξυγόνου ελέγχεται. Αξίζει να σημειωθεί ότι η αντικειμενική ουσία του αγωγού αναφέρεται ως ανοξείδωτο ατσάλι SUS 316L σε αυτή τη βιβλιογραφία.
Η προαναφερθείσα απαιτούμενη αντοχή στη διάβρωση και η μη καταλυτική απόδοση δεν αφορούν μόνο αγωγούς αερίου. Η ίδια ζήτηση είναι επίσης από ανοξείδωτο χάλυβα που χρησιμοποιείται σε διάφορους εξοπλισμούς για την κατασκευή ημιαγωγών, ένας από τους οποίους έχει λεπτή επεξεργασία γκοφρέτας. Ο αυστενιτικός ανοξείδωτος χάλυβας, συγκεκριμένα, ο τύπος SUS 316L χρησιμοποιείται κυρίως ως υλικό για σωλήνες και άλλα μέλη εξοπλισμού. Η ιαπωνική δημοσίευση διπλώματος ευρεσιτεχνίας Kokai αριθ. 161145/1988 αποκαλύπτει ένα μη τυποποιημένο υψηλής καθαρότητας ωστενιτικό ανοξείδωτο χάλυβα από χαλύβδινους σωλήνες που χρησιμοποιείται σε καθαρά δωμάτια. Τα μη μεταλλικά εγκλείσματα περιορίζουν τη μείωση της περιεκτικότητας σε μαγγάνιο, πυρίτιο, αλουμίνιο και οξυγόνο, μειώνοντας έτσι την παραγωγή σωματιδίων από την εσωτερική επιφάνεια του αγωγού.
Επιπλέον, η Ιαπωνία δημοσίευσε τη Δημοσίευση Διπλώματος Ευρεσιτεχνίας Νο. 198463, 1989/, η οποία αποκαλύπτει ένα μέλος από ανοξείδωτο χάλυβα για εξοπλισμό κατασκευής ημιαγωγών. Αυτά τα μέλη οξειδώνουν το αέριο μετά από ηλεκτροχημική στίλβωση από ανοξείδωτο χάλυβα. Υπό ορισμένες συνθήκες, σχηματίζεται ένα στρώμα οξειδίου με πάχος 100 έως 500 angstroms και θερμαίνεται με τέτοιο τρόπο ώστε ο αριθμός των ατόμων Ni στο εξωτερικό τμήμα να είναι Αναλογία